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製品情報

長年培ってきたクリーン化技術に加え、自社オリジナル空調機を採用することにより、恒温(恒温恒湿)機能を付与したクリーンルームシステムを提供します。

特徴

清浄度
各ISOクラス対応可能
温度制御精度
±1℃~±2℃で局所~大空間まで対応可能(限定空間での高精度温度制御(±0.5℃以上)にも対応)
省エネ性
周囲及び内部負荷変動に応じた独自の制御により、エネルギーロスを抑えつつ、対象空間を恒温(恒温恒湿)に保ちます
低風速
低風速(0.1m/sec前後)の温調エアをルーム内に供給します。(低風速メッシュダクト採用時)
レイアウト
部屋の分割など自由なレイアウトが可能

クリーンルームのイメージ(内部)

クリーンルームのイメージ(外部)

仕様

  • 設計仕様

  • 実測温度データ

  • 仕様図面

業界別システム例

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